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机台名称:多层炉无尘烤箱
应用范围: FPD(STN-LCD、TFT-LCD、COLORFILTEP、TOUCH PANEL、OLED、PDP、ITOGlass保护胶烘烤等制程烘烤
性能特点:与机械手搭配分层取、放玻璃
洁净度:class100#(FED-STD-209E洁净标准等级)
均匀性:±3.0%(空载测试)
规格参数:
型号 | KLMO-8 | KLMO-9 | KLMO-10 |
内尺寸W/D/Hmm | 935/1390/926 | 935/1390/1235 | 935/1390/1800 |
外尺寸W/D/Hmm | 2020/1730/2568 | 2020/1730/2580 | 2020/1730/3140 |
整机功率 | AC 380V 36KW | AC 380V 40KW | AC380V 50KW |
内箱层数 | 12 | 18 | 33 |
开启门数 | 7 | 10 | 12 |
马达位置 | 底部 | 顶部 | 底部 |
每层高度 | 55~60mm | ||
温度范围 | 60~200℃(300℃) | ||
基材尺寸 | 500*600~730*920mm | ||
基板厚度 | T=025mm~1.1mm | ||
温度均匀性 | ±3.0%(空载测试) | ||
第一层距地高度 | 1150mm | ||
进气量 | N2或Clean AirMAX:25L/min | ||
排气口 | 手动风门 | ||
洁净度 | class1000#(FED-STD-209E洁净标准等级) | ||
内箱材质 | SUS304#镜面不锈钢 | ||
外箱材质 | SST41钢板经过防锈处理后高温粉体烤漆 | ||
电热 | 采覆套式電熱器(SHEATHED HEATER)無塵化電熱發生器 | ||
配备 | 降温风机、HEPAFilter、压差计、流量计、方通层架 | ||
开门方式 | 私服+减速机+气缸进行升降开启门 | ||
控制箱 | 以上外尺寸均不含控制箱,控制箱可分体、连体设计 |